每日經濟新聞 2022-11-11 15:10:21
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：老師，請問驗證14-28nm的光刻膠缺陷檢測儀器美國已不能購買，國內最早能替代的機器什么時侯能開發出？
南大光電（300346.SZ）11月11日在投資者互動平臺表示，公司ArF光刻膠正在多家下游客戶處進行驗證，具體進展請見相關信息披露。
(記者 陳鵬程)
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