首發快訊

科研人員研發“閃速退火”工藝一秒“煉”就晶圓級高性能儲能薄膜

2025-11-15 16:38:06

每經AI快訊，近日，中國科學院金屬研究所沈陽材料科學國家研究中心胡衛進研究員團隊攜手合作者，開發出一種熱處理升降溫速率可達每秒1000攝氏度的“閃速退火”工藝，成功制備出晶圓級高性能儲能薄膜。相關成果于11月15日凌晨發表在《科學進展》期刊上，為下一代高性能儲能電容器件的制造開辟了一條新路徑。（新華社）

責編張明雙

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