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晶升股份：公司早期已成功研發(fā)出液相法的碳化硅長晶爐并已向多家客戶供應

2023-12-14 08:41:25

每經AI快訊，每經AI快訊，晶升股份近日接受機構調研時被問及明年碳化硅長晶爐的意向訂單是以PVT法還是液相法為主？對此，晶升股份表示，采用液相法可通過摻雜使碳化硅在高溫下變?yōu)橐簯B(tài)。相比PVT法而言，液相法可以觀測且更便于在長晶過程中進行干預。但液相法目前還處于行業(yè)的前期探索研究階段，其核心問題是缺乏下游芯片廠的應用數(shù)據(jù)積累。公司在早期就成功研發(fā)出液相法的碳化硅長晶爐并已向多家客戶供應，但就明年訂單情況來看PVT法長晶設備仍然占絕大多數(shù)。（每日經濟新聞）

責編 王曉波

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