對話ASML中國區總裁沈波：光刻機為什么那么難？

每經記者 朱成祥    每經編輯 梁梟    

在第六屆進博會開幕前夕，“光刻巨人”ASML（阿斯麥）于10月26日在上海張江舉行展前溝通會。ASML全球副總裁、中國區總裁沈波接受了《每日經濟新聞》記者在內的媒體群訪。

沈波首先講述了ASML參展進博會的亮點。這是ASML第五次參加進博會，其將以“光刻未來，攜手同行”為主題，亮相國家會展中心技術裝備區集成電路專區。

光刻機難在何處？

關于進博會展出情況，沈波表示：“平時公司大多（數）設備產品都放在潔凈室，對環境的要求非常高。因此，我們只能讓大家，通過各種虛擬的方式感受ASML的產品，包括產品的工作方式。”

他表示：“今年我們展臺分為三塊，中間這一塊希望著重地讓大家理解芯片制造全流程和ASML的全景光刻解決方案。我們希望通過進博會平臺，讓大家對ASML有一個更客觀、更全面的認識。著力讓大家理解，在芯片廠里面，ASML能夠幫客戶做什么。”

對于光刻機為什么這么難？沈波表示：“我們的光刻機每小時能處理多達300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機中曝光時間只有十幾秒。這十幾秒，機器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據產品種類和設計的差異需要產生100束光左右，每一束光都會有區別，并且在實時調整。這個過程是非常復雜、非常精細的。”

ASML全球副總裁、中國區總裁沈波

圖片來源：企業供圖

沈波補充表示：“光刻環節，處于上千道工序里面最核心的位置。量產芯片廠，產品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問題，芯片最后出來就可能不是一個合格的產品，這對芯片廠是巨大的成本。在我們看來，光刻擔負的使命是讓整個工藝獲得一個非常好的窗口，在其他工序控制起來有難度、有偏差的地方，希望在光刻領域工藝窗口做得大一些，留一點余量給其他環節。因此，很大壓力都會放在光刻環節上。”

此外，沈波也介紹了計算光刻。他表示：“芯片生產過程中，光的衍射效應非常明顯。舉個例子，如果想得到一個正方形，我們在設計光罩的時候可能需要設計成圓形。簡單說，想得到的芯片圖形與設計的光罩圖形有非常大的差異。計算光刻扮演的角色，就是通過大量模型的建立，把這些物理效應充分考慮進去。”

ASML怎樣助力晶圓廠？

在提問環節，《每日經濟新聞》記者提問道：“您認為我國現在半導體未來的發展方向是哪里？未來重點發展在哪些方向？”

沈波回復稱：“芯片這個行業的發展到現在已經超過60年時間了，從集成電路發明到現在，一直沿著自己的規律在往前走。如果我們去看中國這個產業里面最有影響的地方在哪？可以從不同終端市場來看。”

舉例來說，根據公開數據，家電行業，中國是家電和消費電子產品的最大消費國與生產國之一，預計2023年中國在該領域最高將創造1530億美元的收入，約占全球的30%；汽車行業，根據中國汽車工業協會的最新統計數據，中國新能源汽車的增長速度連續八年保持世界第一；儲能行業，截至2022年底，中國已投運的電力儲能項目累計裝機容量為59.8GW，占全球市場總量的25%，年增長率為38%；另外，中國企業供應了全球約80%的多晶硅、太陽能電池和組件。

這是芯片應用的終端。落到芯片制造領域，哪些市場值得關注呢？沈波表示：“我們自己看來，先進制程芯片從數量上講是相對較小的，絕大多數是成熟制程芯片。我覺得，對于中國來講，這么大終端市場需求推動下，把最大頭成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對咱們這個行業來講是最高效的，可以達到一個事半功倍的效果，有助于提高投入產出比。”

目前中國成熟制程有多大進步空間呢？沈波繼續講述：“成熟制程這個領域里面，能把中國的成熟制程做到全世界非常具有競爭力的水平，可能在未來相當長的一段時間里面大家還有大量的工作要做。尤其是在現在這種大環境下，從產業鏈的各個環節來看都需要一起通力合作，我們怎么能把這塊做到在全球范圍內都是非常有競爭力的，是一個值得考慮和努力的方向。”

《每日經濟新聞》記者追問：“在先進制程發展受到制約的背景下，很多晶圓工廠大力發展特色工藝，比如BCD（一種單片集成工藝技術）或者高壓顯示驅動。ASML在人員上是否在特色工藝領域給予晶圓廠一些支持呢？”

沈波回復道：“中國市場就像一個縮小的全球市場，很多樣化，各種各樣的客戶、不同的產品都有。此外，ASML對客戶的服務，并不僅是機器壞了去把它修好再重新運行，并非這么簡單的服務。ASML對所有客戶而言，很大的附加值是幫客戶把機器用得好。通過我們的服務，讓客戶工藝流程能夠做得更好。這個過程，有很多需要優化、需要調整的地方，這就需要服務團隊與客戶一起，根據工藝需求去做針對性的調整。”

“這是我們一直對所有客戶都在做的事情。我們面對不同的應用，都有相應的技術人員，跟客戶的技術人員合作，幫助客戶把它的工藝開發出來，把工藝做得更好。我們的服務遠遠超過維修這個范疇。”沈波總結道。

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