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鋼研納克:子公司納克微束生產的場發射掃描電鏡根據不同的選配模塊及工作方式,分辨率達到了納米級

每日經濟新聞 2023-09-19 06:53:40

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:您好,請問貴公司的場發射掃描電鏡可以檢測半導體晶圓刻度質量、晶格結構嗎?

鋼研納克(300797.SZ)9月18日在投資者互動平臺表示,公司子公司納克微束生產的場發射掃描電鏡根據不同的選配模塊及工作方式,分辨率達到了納米級。

(記者 蔡鼎)

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