炬光科技：公司的光場勻化器產品供應給國內主要光刻機制造商，產品已應用于國內主要光刻機研發(fā)項目和樣機中

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司與國內哪些研究院有研發(fā)合作光刻機？當前研發(fā)出的樣機能開展14nm、28nm和8nm的芯片燒蝕嗎？ 荷蘭阿斯麥禁售高端光刻領域產品和技術，作為阿斯麥的間接供應商，炬光科技將有哪些動作，支持國家集成電路產業(yè)的發(fā)展，實現(xiàn)高精尖設備的自主可控？

炬光科技（688167.SH）7月17日在投資者互動平臺表示，公司的光場勻化器產品供應給國內主要光刻機制造商，產品已應用于國內主要光刻機研發(fā)項目和樣機中。具體客戶情況請以公司公開披露的信息為準。 在半導體集成電路領域，公司已經有多項產品和技術服務于國內集成電路設備商，包括用于28nm制程及以下邏輯芯片的激光退火系統(tǒng)、用于DUV光刻機的光場勻化器、用于后道封裝制程領域的激光輔助鍵合激光系統(tǒng)等。

(記者 蔡鼎)

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