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英諾激光：公司曾向ASM LASER提供過激光器

2023-06-13 10:53:24

每經AI快訊，英諾激光6月13日在投資者互動平臺表示，公司曾向ASM LASER SEPARATION INTERNATIONAL B.V.提供過激光器。公司在半導體領域持續投入研發，目前提供的產品以碳化硅退火制程的激光器為主，亦有少量應用在硅基半導體檢測等關鍵制程的紫外和深紫外等激光器，客戶以國外知名半導體裝備公司為主。

責編 張喜威

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