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晶瑞電材:目前ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中

2023-05-08 20:38:14

每經AI快訊,5月8日,晶瑞電材在投資者關系活動記錄表中稱,公司i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等國內的知名大尺寸半導體廠商供貨;KrF光刻膠生產及測試線已經建成,且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產,今年將發力拓展新客戶;公司于2020年啟動了集成電路制造用高端光刻膠研發項目,并于2020年下半年購買了ASML1900 Gi型光刻機及配套設備,目前ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中。

責編 王瀚黎

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