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國內(nèi)首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)成功應(yīng)用 IC產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵自動(dòng)化裝備實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)

2019-12-20 08:05:18

據(jù)北京日?qǐng)?bào)，晶圓倒片機(jī)是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序，這就要求晶圓倒片機(jī)擁有極高的傳送效率和潔凈程度。近日，北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司經(jīng)過多年探索，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)，破解了國產(chǎn)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)自動(dòng)化難題。

責(zé)編 張弩

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